回收后的廢舊靶材進入預處理階段。首先進行嚴格的分類與鑒別，依據其成分、鍍層殘留情況、基底材料（常為金屬或陶瓷）進行分選。隨后通過機械破碎、研磨等物理方法，將大塊靶材分解為粒度較小的顆粒，增大后續化學處理的反應接觸面積。此階段可能涉及物理分選技術，如利用密度或磁性差異初步分離部分雜質。
ITO廢舊靶材的上門回收及后續處理，是一項融合了物流管理、材料分選、濕法冶金和金屬精煉的系統性工程技術。其核心價值在于通過工業化的化學與物理手段，將廢棄物品中的特定稀有元素——銦，、清潔地轉化為可再次投入生產的工業原料。這一過程體現了資源循環理念在電子信息材料領域的具體應用，其發展水平與推廣程度，是衡量相關產業資源效率和環境績效的一個重要指標。未來，隨著回收技術的持續優化與產業鏈協同的加強，此類資源循環體系有望在更廣泛的電子廢棄物處理中發揮示范作用。
二、現場快速篩查技術（適用于初步分類與估價）
在回收一線作業中，為提率、實現分級管理，可采用以下便攜式工具進行初篩：
?XRF便攜式熒光光譜儀?
可在現場對塊狀、粉末狀ITO廢料進行非破壞性檢測，檢出限≤50 ppm，能在數十秒內給出銦的大致含量，是目前最常用的現場初篩工具。但需注意，XRF對薄膜類樣品（如鍍膜玻璃）測量誤差較大，建議結合取樣分析。
?分級分類輔助判斷?
根據廢料來源和物理形態，可初步預估銦含量：
廢舊ITO靶材殘塊：銦含量通常在70%以上，優質殘靶可達85%~90%
靶材邊角料與次品：含量接近原材，約85%–90%
濺射粉塵或靶灰：因氧化和污染，含量可能降至50%以下，需謹慎評估
從物質循環的視角審視，ITO靶材的回收本質上是一個將使用后或加工后的固體物料，重新納入工業生產鏈條的過程。這一過程并非簡單的“變廢為寶”，而是需要解決一系列技術難題：如何分離靶材中的銦、錫與其他基材或雜質；如何在回收過程中保持金屬，特別是銦的高回收率與純度；以及如何控制回收工藝自身的環境足跡。
