弘信新材石墨作為國內先進的石墨解決方案專家,擁有多年的石墨盤加工經驗,Veeco石墨烤架供應商
石墨烤架(如Veeco 7槽籃式)在LED制造流程中主要用于外延生長階段,特別是在MOCVD設備中承載和加熱襯底,確保外延層的高質量生長。其高導熱性、熱穩定性和化學穩定性使其成為LED制造中不可或缺的關鍵部件。
適配“Veeco MOCVD”及“EPIK868機型”。采用等靜壓高純石墨R8710/R8810材質(灰分≤5ppm)及耐溫極限(2300℃);
支持槽位數量(5-9槽)、槽深(±0.1mm精度)調整,覆蓋主流GaN-on-SiC及GaN-on-Sapphire工藝。支持非標定制,交期15天,點擊咨詢國產替代方案!Veeco MOCVD石墨烤架選型指南》MOCVD石墨托盤變形怎么處理?Veeco石墨盤修復服務
