弘信新材石墨作為國(guó)內(nèi)先進(jìn)的石墨解決方案專家,擁有多年的石墨盤加工經(jīng)驗(yàn),Veeco石墨烤架供應(yīng)商
石墨烤架(如Veeco 7槽籃式)在LED制造流程中主要用于外延生長(zhǎng)階段,特別是在MOCVD設(shè)備中承載和加熱襯底,確保外延層的高質(zhì)量生長(zhǎng)。其高導(dǎo)熱性、熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性使其成為L(zhǎng)ED制造中不可或缺的關(guān)鍵部件。
適配“Veeco MOCVD”及“EPIK868機(jī)型”。采用等靜壓高純石墨R8710/R8810材質(zhì)(灰分≤5ppm)及耐溫極限(2300℃);
支持槽位數(shù)量(5-9槽)、槽深(±0.1mm精度)調(diào)整,覆蓋主流GaN-on-SiC及GaN-on-Sapphire工藝。支持非標(biāo)定制,交期15天,點(diǎn)擊咨詢國(guó)產(chǎn)替代方案!Veeco MOCVD石墨烤架選型指南》MOCVD石墨托盤變形怎么處理?Veeco石墨盤修復(fù)服務(wù)
