FH413A05三軸加速度傳感器說明書MEMS三軸加速度傳感器，電容加速度計(jì)
一、簡(jiǎn)介
FH413A05 三軸加速度傳感器由我公司自行研制，用于測(cè)量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有 BIMOS 信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有低功耗、高可靠性和高封裝堅(jiān)固性，并具自檢測(cè)（Self-Test）等功能，可實(shí)現(xiàn)自檢測(cè)。
本產(chǎn)品可用于汽車測(cè)控、慣性導(dǎo)航、飛行器系統(tǒng)、地震監(jiān)控、 傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)中。
二、原理
FH413A05三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面 MEMS 多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克 服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊 相連的中央板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié) 構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。
三、技術(shù)條件
性能
FH413A性能
Ax ，Ay ，Az
測(cè)量范圍（ g）
±2
±4
±5
± 10
±20
±40
靈敏度（mV/g）
1000±50
500±50
400±30
200±20
100±10
50±5
帶寬（10%，Hz）
0～500
零 g 偏置電壓（V）
2.5±0.05
滿量程輸出（V）
0.5-4.5
零偏溫度變化（mg/ °C）
±0.2~ ±0.8
交叉軸影響（%）
≤2
非線性度(％F.S)
≤0.1
噪聲密度（ug/ √Hz）
20~80
供電要求
供電電壓(VDC)
12±0.5
輸入電流（mA）
≤20
工作環(huán)境
使用溫度（。C）
-45～+85
抗沖擊（ g）
5000
重量、體積
重量(g)
≤20
體積（mm3 )
21.6×21.6×12.4
