分子泵電機(jī)主軸
適用于:半導(dǎo)體制造(晶圓刻蝕、沉積)精密儀器(電子顯微鏡、質(zhì)譜儀)生物醫(yī)藥(真空凍干、細(xì)胞培養(yǎng))航天航空(空間環(huán)境模擬、推進(jìn)系統(tǒng)測(cè)試)
優(yōu)點(diǎn)·:無(wú)接觸高精度支撐:實(shí)現(xiàn)微米級(jí)運(yùn)行穩(wěn)定性低損耗傳動(dòng):減少能量浪費(fèi)與發(fā)熱強(qiáng)環(huán)境與工況適應(yīng)性:耐受復(fù)雜負(fù)載與特殊場(chǎng)景