ITO（氧化銦錫，Indium Tin Oxide）靶材廣泛應用于液晶顯示器、觸摸屏、太陽能電池等行業。隨著ITO靶材的廣泛使用，其回收再利用成為降低成本、減少資源浪費、保護環境的重要環節。
ITO靶材的基本介紹
主要成分：氧化銦（In2O3）和氧化錫（SnO2）
應用領域：液晶顯示、OLED、太陽能電池、觸摸屏等
靶材類型：新靶材、廢靶材（使用后剩余靶材）
ITO靶材主流回收技術
機械物理分離：適合較厚靶層，回收效率高。
濕法化學回收：利用酸堿進行溶解分離，適合大批量廢靶材。
熱處理工藝：部分回收方案采用高溫分離，能耗較大。
ITO靶材回收注意事項：
措施：處理酸堿和廢液時需注意和環保。
環保合規：廢液和殘渣需達標處理，避免二次污染。
回收效率：合理選擇工藝，提高銦、錫的回收率和純度。