廢ITO靶材回收的核心挑戰在于:
成分復雜:除In?O?、SnO?外,含粘結劑、金屬背板(銅/鉬)等。
高純度要求:再生銦純度需達99.99%以上,雜質含量需嚴格控制在ppm級,否則影響新靶材性能。
銦錫分離:分離銦錫是實現價值化的關鍵。
閉環工藝:價值再造的精益之路
ITO靶材回收流程:
1. 收集廢靶材:收集來源:面板廠、鍍膜廠等使用ITO靶材的企業。
2. 表面處理/預處理 :清洗表面雜質、油污、物理去除殘留膜層
3. 靶材分離:機械切割或分解、分離金屬基板與ITO涂層
4. 濕法冶金回收:用酸(如硝酸、鹽酸等)溶解ITO層、萃取液中回收銦和錫元素
5. 純化與精煉 萃取、沉淀等精細化學手段,獲得高純度的銦、錫化合物
6. 再利用 提純后的銦、錫用于制備新ITO靶材或其他用途
ITO靶材回收市場需求持續增長,尤其在顯示面板和光伏行業。銦價高企,促使更多企業關注廢靶材的回收利用。隨著技術進步,回收工藝趨于環保。
常見問題答疑:
1. 廢靶材回收價格如何計算?
主要根據靶材剩余銦錫含量、市場行情、回收工藝等因素浮動。
2. 回收的銦錫純度能否滿足再次制靶需求?
取決于回收及精煉工藝,多數高品質回收企業可將純度提升至制靶要求。
3. 回收周期多久?
一般為12周,具體視回收量和工藝流程而定。
氧化銦錫(ITO)靶材廣泛應用于平板顯示器和太陽能電池的生產,在ITO目標使用了一段時間后,將其替換為新的目標,用過的ITO靶含有大量的銦,可以通過各種工藝回收。

