FT1000SA系列MEMS三軸電容加速度傳感器
一、傳感器特點(diǎn)：
FT1000SA三軸MEMS三軸電容加速度傳感器由本公司自行研制，用于測(cè)量單軸加速度的傳感器。它采用高精度MEMS芯片，具有BIMOS信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性。
本產(chǎn)品可用于汽車測(cè)控、慣性導(dǎo)航、飛行器系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)中。
二、產(chǎn)品性能
靈敏度（20±5℃） X Y Z:～40-20mv/g
測(cè)量范圍（峰值）50~100 g
橫向靈敏度 ≤1 ％
頻率響應(yīng) （±5%）DC ～12000 Hz
安裝諧振頻率 25,000 Hz
頻譜噪聲 25 μg/√Hz
工作溫度范圍 -40～+120 ℃
極性 正向
溫度靈敏度穩(wěn)定性 5%
磁靈敏度 2 g/T
線性度為滿度范圍 ±0.1%
安裝 M5螺釘/安裝座/磁座
敏感材料 MEAS芯片
殼體材料 鈦合金
重量 13g
輸出方式 九芯插頭/5線制
供電電壓 DC7-12V
配套件
傳感器合格證 標(biāo)定參數(shù)、頻響曲線
M5螺栓/安裝座 一套
9芯/（2 米） 1根
FT1000SA系列MEMS電容三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊相連的中央板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。