真空度顯示：顯示腔體內部的真空度數值
運行程序段：分為3個步驟，綠色表示運行狀態
①真空泵啟動②射頻電源打開③放氣
進氣流量顯示：通過調節A、B流量調節閥調節氣體進入腔體的大小，在兩個圖標顯示，上部顯示為A流量，下部顯示為B流量
時間：顯示設備清洗時間
功率:顯示當前設備清洗是清洗功率
設備溫度：顯示當前射頻電源設備溫度
放氣狀態：顯示當前放氣閥開啟或關閉狀態
清洗時間：點擊可設置設備運行清洗時間
清洗功率：點擊可設置設備運行清洗功率
開始運行：點擊可切換設備開始運行或者停止運行
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