中型真空高低溫探針臺(tái)：可實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測(cè)量，真空腔一體成型，具有設(shè)計(jì)合理，真空度穩(wěn)定，溫控精度及機(jī)械精度高等特點(diǎn)；根據(jù)測(cè)試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件，溫度可達(dá)到400℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至-196℃，；真空系統(tǒng)可選機(jī)械泵或分子泵系統(tǒng)，真空度可達(dá)到10-3Torr或10-6Tor。
中型真空高低溫探針臺(tái)的應(yīng)用：
可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
中型真空高低溫探針臺(tái)的參數(shù)
真空腔體
腔體材質(zhì)
304不銹鋼
上蓋開(kāi)啟
鉸鏈側(cè)開(kāi)
加熱臺(tái)材質(zhì)
304不銹鋼
內(nèi)腔體尺寸
φ160x90mm
觀察窗尺寸
Φ70mm
加熱臺(tái)尺寸
φ60mm
觀察窗熱臺(tái)間距
75mm
加熱臺(tái)溫度
﹣196~350℃
加熱臺(tái)溫控誤差
±1℃
真空度
機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允許正壓
≤0.1MPa
真空抽氣口
KF25真空法蘭
氣體進(jìn)氣口
3mm-6mm卡套接頭
電信號(hào)接頭
SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
電學(xué)性能
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
探針數(shù)量
4探針
探針材質(zhì)
鎢針
探針尖
10μm
探針移動(dòng)平臺(tái)
X軸移動(dòng)行程
30mm ±15mm
X軸控制精度
≤0.01mm
Y軸移動(dòng)行程
13mm ±12.5mm
Y軸控制精度
≤0.01mm
Z軸移動(dòng)行程
13mm ±12.5mm
Z軸控制精度
≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類(lèi)別
物鏡
物鏡倍數(shù)
0.7-4.5倍
工作間距
90mm
相機(jī)
sony 高清
像素
1920※1080像素
圖像接口
VGA
LED可調(diào)光源
有
顯示屏
8寸
放大倍數(shù)
19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm