微電容申通道叉指電低溫探針臺：一體式不銹鋼腔體，手動調節探針，正面留有觀察窗，反面留有透光孔。高低溫配置
KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺，結構小巧，功能使用，成本較低，可以滿足基本實驗的要求。特別之處在于顯微鏡和探針臺采用分體結構，使得探針部分能從整個探針臺系統中獨立出來，可以應用于輻照實驗中，該探針臺也可放置高低溫箱中，用于芯片的三溫測試。多探針結構可實現多路測試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒，增加了抗干,擾,能力，其測試數據更加準確。
微電容申通道叉指電低溫探針臺技術參數：
真空腔體
類型
高溫型室溫到350℃
高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃
腔體材質
304不銹鋼 6061鋁合金 可選
腔體內尺寸
127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸
150mmX80mmX32mm
腔體重量
不銹鋼材質 約1.5KG 鋁合金材質 約0.5KG
腔體上視窗尺寸
Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口
KF16法蘭（其余接口規格可轉接）
腔體真空測量口
KF16法蘭（其余接口規格可轉接）
腔體進氣口
6mm快擰 或 6mm快插
腔體冷卻方式
腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓
≤0.05MPa
腔體真空度
機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質
不銹鋼 銀銅合金 純銀塊
銀銅合金 純銀塊
樣品臺尺寸
26x26mm
樣品臺加熱方式
電阻加熱
電阻加熱 液氮制冷
樣品臺-視窗 距離
11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺測溫傳感器
PT100型熱電阻
樣品臺溫度
室溫到400℃
室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺測溫誤差
±0.5℃
樣品臺升溫速率
高溫100℃/min 低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示
7寸人機界面
溫控類型
標準PID溫控 +自整定
溫度分辨率
0.1℃
溫控精度
±0.5℃
溫度信號輸入類型
PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出
直流線性電源加熱
直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能
溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口
溫控器尺寸
32cmX170cmX380cm
溫控器重量
約5.6KG
探針
電信號接頭
配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
電學性能
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數量
4探針（可擴展5探針）
探針材質
鍍金鎢針 （其他材質可選）
探針尖
10μm
手動探針移動平臺
X軸移動行程
20mm ±10mm（需手動推動滑臺）
X軸控制精度
≥500μm
R軸移動行程
120° ±60°（需手動旋轉探針桿）
R軸控制精度
≥500μm
Z軸移動行程
2mm ±1mm
Z軸控制精度
≤50μm（需手動螺紋調節探針桿）