科探標準復合分子泵機組是一臺清潔的高真空獲得設備。此設備是根據真空知識原理，利用機械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統，具有啟動時間快、真空度高、操作方便等特點。廣泛應用于表面分析、加速器技術、等離子體技術、電真空器件制造及真空的各個領域。設備的具體組成主要包括真空測量系統、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統等
技術參數：
控制方式
手動控制/自動控制切換
前級泵接口
KF25（客戶根據真空環境潔凈度要求自行安裝前級泵）
分子泵
FF-100/150 51000轉/分
分子泵抽氣速率
140L/S
分子泵啟動時間
≤2min
空載極限壓強
≤1X10-4Pa
真空測量方式
冷陰極標準規管
真空測量范圍
1E﹢2到1E-5 Pa
真空測量精度
1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數 重復性：±5%
抽氣接口
KF25
閥門類型
KF25手動擋板閥
系統電源
AC220V
系統功率
≤1KW
環境溫度
5~32℃
冷卻方式
強制風冷卻
濕度
≤80%RH
外形尺寸
250 X360 X 300mm （寬-深-高）
重量
25KG
隨機配件：KF25高真空擋板閥X1個 KF25卡箍X3個 kf25-1米不銹鋼波紋管x1根 說明書X1本 電源線x1根 冷陰極真空計X1個