真空探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
該探針臺的承載臺為φ60不銹鋼臺面，臺面可升溫到400℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環境下精密移位調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－20mm；z方向調節范圍：0－20mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測
真空腔體
型號
KT-Z1604T-RL高低溫型 KT-1604TZ高溫型
加熱臺溫度
高溫型 ：400℃ 高低溫型：-190~400℃
腔體材質
304不銹鋼
上蓋開啟
鉸鏈側開
加熱臺材質
304不銹鋼
內腔體尺寸
φ160x90mm
觀察窗尺寸
Φ70mm
加熱臺尺寸
φ60mm
觀察窗熱臺間距
75mm
加熱臺溫控誤差
±0.5℃
真空度
機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允許正壓
≤0.1MPa
真空抽氣口
KF25真空法蘭
氣體進氣口
3mm-6mm卡套接頭
電信號接頭
SMA轉BNC X 4
電學性能
絕緣電阻 ≥4000MΩ介質耐壓 ≤500V 電流噪聲 ≤10pA/100fA
探針數量
4探針
探針材質
鎢針
探針尖
10μm
探針移動平臺
X軸移動行程
30mm±15mm
X軸控制精度
≤0.01mm
Y軸移動行程
13mm±12.5mm
Y軸控制精度
≤0.01mm
Z軸移動行程
13mm±12.5mm
Z軸控制精度
≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類別
物鏡+目鏡
物鏡倍數
0.7-4.5倍
工作間距
90mm
相機
sony高清
像素
1920※1080像素
圖像接口
VGA
LED可調光源
有
顯示屏
13寸
放大倍數
19-256倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm
