KT—Z1650CVD是一款小型臺(tái)式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓，電流反饋，樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率，可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
小型蒸鍍儀鄭州科探儀器技術(shù)資料
控制方式
7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
加熱方式
數(shù)字式功率調(diào)整器
鍍膜功能
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率
≤1200W
輸出電壓電流
電壓≤12V 電流≤120A
真空度
機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa
擋板類型
電控
真空腔室
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
樣品臺(tái)
可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速
8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離
70-140mm
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)
≤1800℃
支持蒸發(fā)坩堝類型
鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟 碳繩
預(yù)留真空接口
KF25抽氣口 KF16真空計(jì)接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
可選配擴(kuò)展
機(jī)械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）
數(shù)顯真空計(jì)（測量范圍大氣壓到0.1Pa）
分子泵機(jī)組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）