地面：地面材料多采用聚氨脂涂料、環氧樹脂、人造革、水磨石，為了有效預防地面材料發塵和提高地面材料的使用壽命，可采用防靜電積聚的蠟水打蠟。蠟面用超濾塵工業吸塵機吸塵或洗地吸干機洗地。
設施設備清洗：用超濾塵工業吸塵機吸塵或用無塵抹布擦拭。
現代廠房頂棚的材料多采用表面光滑材料制作，如彩鋼板、塑料板、鋁塑板等，可以采用吸附力強的無塵抹布擦拭表面，并配合伸縮桿、老虎夾等工具使用。對凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業吸塵機吸塵。
工廠設備的灰塵要用超濾塵吸塵機或者用抹布擦拭。
除了工廠設備，還要用超濾塵工業吸塵機吸閥門，燈具、門窗、管孔等零件的灰塵。
廠房對空氣濕度要求很高，所以盡量不要用水洗，因為設備金屬不耐腐蝕，所以不要用酸堿性清潔劑，而要用中性清潔劑。如果清潔劑能除靜電來就更好了。
多數廠房的墻面用的是玻璃、彩鋼板、鋁塑板等材料制作，可以選用無塵抹水器、無塵抹布擦拭表面，并配上玻璃刮，不平整的地方也要用超濾陳工業吸塵機吸塵。
多數廠房的地面用大理石，塑膠板，水磨石等材料，為了減少地上的揚塵和地面材料的使用時長，可以在地面用防靜電蠟水打蠟。地面可以用洗地吸干機洗地。