超純水設備采用預處理、反滲透技術、混床、EDI裝置以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。超純水設備又稱做:超純水器，超純水機，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。 超純水機所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。一般超純水出水能達到18.25兆歐。
工藝簡介
①預處理
1、 傳統工藝由機械過濾器、活性炭過濾器和保安過濾器組成。
2、 工藝由機械過濾器、保安過濾器和超濾組成。
②反滲透系統
2、 可分為一級反滲透和二級反滲透
③ 精處理系統
1、離子交換和微孔過濾器組成
2、 EDI和微孔過濾器組