濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產佳溫度范圍為35—45。
靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重，是因為不但在潔凈室中具備前述產生靜電的多種工藝因素，而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都易產生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。
潔凈室
對生物潔凈室，除對送入潔凈室的空氣中的生物或非生物微粒數要受到控制，還要對室內器具、地面、墻面、壁板等表面進行處理。空氣潔凈技術不能殺滅，生物潔凈室運行管理中采取、措施，減少微生物在潔凈室中的生存、繁衍。
目前，傳統方法為：紫外線、藥劑、加熱和臭氧法。它們可靠性都很好，應用為廣泛。
另外，整個被的潔凈室應通過送回風管形成循環狀態，每天開機做空氣1—1.5小時;若需對潔凈室墻體、地面和設備等表面進行則需2小時左右。
無塵室與擴散的效果類似，當過濾材料帶靜電時，粉塵在濾材中滯留的時間越長，被材料吸附的可能性就越大，改變風速，帶靜電材料的過濾效率會明顯改變，如果你材料上有靜電，進行空調系統設計時就應該盡可能地減少通過每只過濾器的風量。
對于以慣性機理為主的大顆粒粉塵，根據傳統理論，風速降低后，粉塵與纖維碰撞的幾率會減少，過濾效率會隨之降低，但在實踐中這種影響并不明顯，因為風速小了，纖維對粉塵的反彈力也小了，粉塵更容易被粘住。
