濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產佳溫度范圍為35—45。
無塵車間生產工藝對密閉性能有著特殊要求，無塵車間內空間密閉、平面布置曲折、風管交錯連通、復合裝修材料復雜，有的生產過程中使用易燃易爆物質，一旦發生火災，熱量難于散發，人員不便于疏散，風管大量布置造成火勢迅速蔓延，有的無塵車間內部還設有大量的昂貴儀器和設備，易造成重大的人員傷亡和財產損失。
煙氣熱量容易積聚。無塵車間一般呈密閉狀態，門窗少，發生火災時，煙氣熱量不易向外散出，火源的熱幅射經四壁反射室內迅速升溫，同時造成煙氣滯留，熱量劇增，大大縮短室內各部位材料選到燃點的時間。煙霧毒性大。無塵車間內裝修中使用了一些高分子合成材料，這些材料在發生燃燒時會產生大量濃煙，散發毒氣，給人員逃生和消防人員救火帶來很大的威脅。
潔凈室的清掃、。
1.潔凈室的清掃一般須在生產工藝結束后進行;如有必要在生產前清掃，則工藝生產在凈化空調系統開機運行時間達到潔凈要求后方可開始進行。為防止交叉污染，清掃潔凈廠房設施均應按產品特點、工序要求、潔凈度等級不同分別專用。
清掃工具一般采用集中固定式和便攜移動式真空清掃設備。如不具備上述條件，也可采用不掉纖維的材料如絲光毛巾、尼龍布進行擦拭，一般每天1次或數次。
工作臺及工器具清掃一般每天一次;10～1000級廠房墻壁、地面清掃，一般每周一次，1萬～10萬級每月一次。凈化空調系統每年宜清洗1～2次，并委托專門清掃人員進行。
