濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產佳溫度范圍為35—45。
潔凈室內靜電導致的事故有以下幾方面；
1．靜電電引起的靜電電擊，引起人和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；
2-靜電放電引起的放電電流，可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內，搖晃數次后，與非門柵嚴重擊穿者計39塊，失效率競達78，這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏；
3．靜電放電產生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作；
4．靜電放電的發光可導致照像肢片等感光破壞；
5．靜電的力學現象可導致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；凈化工程
6．靜電放電引起的危險的災害是成為可燃物的火源井引起爆炸，例如國外文獻統計，在手術室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，爆炸的36次，其中由靜電引起的達21次。
煙氣熱量容易積聚。無塵車間一般呈密閉狀態，門窗少，發生火災時，煙氣熱量不易向外散出，火源的熱幅射經四壁反射室內迅速升溫，同時造成煙氣滯留，熱量劇增，大大縮短室內各部位材料選到燃點的時間。煙霧毒性大。無塵車間內裝修中使用了一些高分子合成材料，這些材料在發生燃燒時會產生大量濃煙，散發毒氣，給人員逃生和消防人員救火帶來很大的威脅。
無塵車間風管穿過需要封閉的防火防爆樓板或墻體是采取的措施。應設鋼板厚度不小于1.6mm的預埋管或防護套管，無塵車間風管與防護套管之間應采用不燃柔性材料封堵。無塵車間風管穿越建筑物變形縫空間時，應設置柔性短管，無塵車間風管穿越建筑物變形縫墻體時，應設置鋼制套管，無塵車間風管與套管之間應采用柔性防水材料填充密實。
