濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。
煙氣熱量容易積聚。無(wú)塵車間一般呈密閉狀態(tài)，門窗少，發(fā)生火災(zāi)時(shí)，煙氣熱量不易向外散出，火源的熱幅射經(jīng)四壁反射室內(nèi)迅速升溫，同時(shí)造成煙氣滯留，熱量劇增，大大縮短室內(nèi)各部位材料選到燃點(diǎn)的時(shí)間。煙霧毒性大。無(wú)塵車間內(nèi)裝修中使用了一些高分子合成材料，這些材料在發(fā)生燃燒時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量濃煙，散發(fā)毒氣，給人員逃生和消防人員救火帶來(lái)很大的威脅。
潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)，目的在于保障操作正常進(jìn)行，滿足必要的談話聯(lián)系及良好的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是：
1．煩惱的效應(yīng)由于噪聲，使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒，一般分為安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和吵鬧7個(gè)煩惱等級(jí)。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和吵鬧者，即為高煩惱，高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率，層流罩。
2．對(duì)工作效率的影響這主要看三方面的反應(yīng)水平，這三個(gè)方面是：集中精神動(dòng)作準(zhǔn)確性工作速度
3．對(duì)綜合通訊的干擾。
無(wú)塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無(wú)塵室：
⑴天花板系統(tǒng)
包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。
⑵空調(diào)系統(tǒng)
包括空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。
⑶隔墻板（Partitional wall)
包括窗戶、門。
⑷地板
包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。
⑸照明器具
包括日光燈、黃色燈管等。
⑹無(wú)塵室之建筑主體構(gòu)造
一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構(gòu)造，滿足如下之條件：
A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕；
B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性小；
D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。
