潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。
潔凈室中的防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質量的一個不可忽視的方面。所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負火災蔓延途徑多、蔓延速度快。無塵車間內通風管道、電氣線路套管、技術夾層等彼此串通，發生火災，特別是火勢初起未被發現而繼續送風，風管成為煙火迅速外串、殃及其它房間的重要通道，易造成煙熱氣流向其它房間和區域，造成火災迅速蔓延。
無塵室在絕大多數情況下，運行中風速越低，過濾器的使用效果越好。主要是因為小粒徑粉的擴散作用明顯，風速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機會撞擊障礙物，因此過濾效率就高，經驗表明，對于過濾器，風速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數量級，風速增加一倍，透過率會增加一個數量級。
