潔凈車間潔凈程度和控制污染的持續穩定性，是檢驗潔凈室質量的核心標準，該標準根據區域環境、凈化程度等因素，分為若干等級，常用的有國際標準和國內區域行業標準，一些知名凈化工程公司，在通行標準之外，還設有自身執行的高于國際化通行標準的凈化指標，凈化能力和環境適應力遠超國際品牌。
一般以工業鋁材(不銹鋼方通、噴塑方通)做框架，采用風機濾網機組FFU送風，四周采用防靜電垂簾，頂部鋪蓋密縫盲板，形成一個密縫區，內部凈化級別可達100---10萬級;特別適用于車間內局部對潔凈度要求高的區域，如流水線作業區的高度產品組裝區。
潔凈技術，即玷污控制(Contamination Control)技術。指的是：對象(產品、人及動物)在被加工、處置、、防護及實驗等過程中，對其所處環境內玷污物(影響對象的加工、處置、等質量、合格率或成功率的物質)進行控制的技術。
玷污物的污染包含對產品的損害和對人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫療范疇謂之感染)。
人是污染源的發源地：靜坐時，人體每分鐘散發10萬個粒子(粒≥0.5μm);
每天脫落6～13克表皮細胞，一年脫落人體細胞約3.5公斤。
半導體潔凈室內微污染來源，經測試，作業人員占80% 。
靜電凈化方式
工作原理：采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場中的陰極線在高壓靜電的作用下，產生電暈放電，電暈層中產生大量的負離子，負離子在靜電場的作用下，不斷地向陽極運動。當空氣中粉塵通過電場時，粉塵受到負離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用，向陽極（集塵極）運動，到達陽極后釋放電荷。
