凈化車間外觀檢查應符合：各種空氣凈化設備、靜壓箱要清洗干凈，確保無塵；各種調節裝置應嚴密、靈活、操作方便；各種管道、自動滅火裝置及空氣凈化設備的安裝應正確、嚴密、牢固；初、中、空氣過濾器與支撐框架的連接以及風管與設備的連接處應可靠封閉；凈化車間內的各種刷涂、保溫工程等應符合有關規定；凈化車間的內墻壁、頂棚表面、地面應平整、光滑、不起灰塵、色澤均勻等；送、回風口及各類末端裝置、管道、動力線配管、照明等穿越凈化車間時，穿越處的密封處理應嚴密可靠。
通過對較大固體、粉塵顆粒在前段進行徹底的攔截，大大地減輕了后端多級過濾的壓力。二次過濾氣相攔截：高壓碰撞離心分離攔截液相霧氣。 高壓碰撞技術：氣溶膠 粒子被粗效過濾件收集，細小的顆粒有逐級濾材完成。
凈化設備可使用油霧分離器，油霧凈化器，油霧處理器，油霧收集器，油霧過濾器、袋式除塵器、無塵工作臺、初效/中/過濾器、過濾器、水蒸發空調機、水溫空調等。大致的工作原理為：當控制器接通電源時，油霧分離器口產生強大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內。在油霧分離器內風輪的作用下發生碰撞，使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒，在吸霧材料的阻擋下實現空氣與水的分離。
潔凈車間，亦稱潔凈室、無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內污染控制，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。
