濰坊半導(dǎo)體凈化工程車間裝修

濰坊半導(dǎo)體凈化工程車間裝修

提到半導(dǎo)體凈化工程，青島潔凈凈化技術(shù)有限公司，目前凈化工程項目主做濰坊半導(dǎo)體凈化工程車間裝修，半導(dǎo)體凈化工程裝修要求有下面幾點：

1.半導(dǎo)體潔凈無塵車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進，因此潔凈無塵車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間中。

2.為保持恒溫與恒濕，大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機加壓多久，空調(diào)就得開多久。

3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動方向均由上往下為主，因此，潔凈無塵車間室內(nèi)空間設(shè)計或機臺擺放應(yīng)避免突兀，使塵埃等在潔凈無塵車間內(nèi)回旋停滯的機會與時間減至程度。

4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。

5.所有人或事物進出潔凈無塵車間，人必須穿配套防塵服，人或事物都要經(jīng)過風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。

6.半導(dǎo)體潔凈無塵車間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓，二則防止水中重金屬離子（如鉀、鈉離子）污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道，影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水是的溶劑與清潔劑，在半導(dǎo)體工業(yè)之使用量極為驚人！

7.半導(dǎo)體潔凈無塵車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣 (98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。

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